目前已有多种类型的传感器分类,但目前已有两种常见的分类方法:一是根据所测量的物理量进行划分;第二类是根据感应器的工作原理而划分的。根据所测量的物理量可分为温度传感器、湿度传感器、压力传感器、位移传感器、流量传感器、液位传感器、力传感器、加速度传感器、扭矩传感器等。
一、压力传感器的分类
压力传感器是目前应用最广的一种,它在各行各业中都有广泛的应用,包括水利水电、铁路、交通、智能建筑、生产自动化、航空航天、军工、石化、井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
目前,压力传感器主要有:应变片、陶瓷、扩散硅、蓝宝石、压电等。压力传感器的应用分为压力监测、压力测量、压力控制和其它测量。根据供电模式,可将其分为两类:压电传感器和压电传感器,其中,压电传感器是无源的,必须有外部电源。后者是由传感器本身产生的,无需外部电源,按其精度划分为低精度和高精度两种。
传统的压力传感器主要采用机械结构式的设备,其压力由弹性元件变形来表达,但是由于结构尺寸大、质量大,无法提供功率。半导体技术的发展使其成为一种新型的压力传感器。它具有体积小,质量轻,精度高,温度特性好等优点。尤其是在 MEMS技术发展的今天,由于其功耗低、可靠性高,所以向小型化方向发展。
半导体压阻式:半导体压阻抗扩散式压敏元件是在薄膜的表面上形成一种半导体形变的压力,由外部的力(压力)将薄膜形变,以产生压阻抗效应,将阻抗的改变转变为电信号。
静电容式:静电容式压力传感器,它是用玻璃的固定电极与硅片的活动电极相反,从而将由可动电极的变形引起的静电容量的改变转化为电信号。(E8Y的工作原理就是静电电容,而其它机型则是半导体)。